“EUV光を、従来のレンズ方式の露光装置で転写しようとすると、レンズや空気中の成分で吸収されてしまい、ウェーハ上のフォトレジストまで届かない。このため”

hiroomi のブックマーク 2024/03/23 17:11

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/4751044331393244096/comment/hiroomi" data-user-id="hiroomi" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/www.tel.co.jp/museum/magazine/report/202310_01/?section=4" data-original-href="https://www.tel.co.jp/museum/magazine/report/202310_01/?section=4" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fwww.tel.co.jp%2Fmuseum%2Fmagazine%2Freport%2F202310_01%2F%3Fsection%3D4" data-user-icon="/users/hiroomi/profile.png">半導体の微細化に不可欠なEUV露光技術の現状とこれから | サイエンス リポート | TELESCOPE magazine</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/EUV">EUV</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">“EUV光を、従来のレンズ方式の露光装置で転写しようとすると、レンズや空気中の成分で吸収されてしまい、ウェーハ上のフォトレジストまで届かない。このため”</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/hiroomi/20240323#bookmark-4751044331393244096"><span class="datetime-body">2024/03/23 17:11</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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