“AMATでは、シングルパターニング＋Centura Sculptaの活用によって、そうした課題の解決を可能としたこととなる。”

reboot_in のブックマーク 2024/04/27 19:06

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EUVダブルパターニングを不要にするAMATの新技術「パターンシェイピング」

news.mynavi.jp2024/04/27

Applied Materials(AMAT)の日本法人であるアプライドマテリアルズジャパンは4月20日、同社が2月末に発表したEUVダブルパターニングの工程をシングルパターニングに削減できるパターンシェイピング技術に関する...

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