MEMSセンサは，半導体の微細加工技術を応用して作る。成膜，露光，エッチングといった技術を使い，化学反応や熱処理を利用して作る。従来のセンサと比較して欠点が少なく，扱いやすさと，特性面の潜在能力の高さを同

hirsato のブックマーク 2012/03/30 10:05

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/87472397/comment/hirsato" data-user-id="hirsato" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20080612/153168/" data-original-href="https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20080612/153168/" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fxtech.nikkei.com%2Fdm%2Farticle%2FWORD%2F20080612%2F153168%2F" data-user-icon="/users/hirsato/profile.png">MEMSセンサ</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/mems">mems</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%B5">センサ</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E6%8A%80%E8%A1%93">技術</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9">デバイス</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E7%B4%A0%E5%AD%90">素子</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">MEMSセンサは，半導体の微細加工技術を応用して作る。成膜，露光，エッチングといった技術を使い，化学反応や熱処理を利用して作る。従来のセンサと比較して欠点が少なく，扱いやすさと，特性面の潜在能力の高さを同</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/hirsato/20120330#bookmark-87472397"><span class="datetime-body">2012/03/30 10:05</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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