出典は列挙するだけでなく、脚注などを用いてどの記述の情報源であるかを明記してください。記事の信頼性向上にご協力をお願いいたします。(2015年6月) 四酸化三鉄(磁鉄鉱)のX線光電子分光スペクトル(サーベイスキャンモード)。横軸は照射したX線を基準としたときの光電子のエネルギー、縦軸は観測された光電子の個数である。 X線光電子分光(エックスせんこうでんしぶんこう)は、光電子分光の1種である。略称はXPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) または ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, エスカ)。サンプル表面にX線を照射し、生じる光電子のエネルギーを測定することで、サンプルの構成元素とその電子状態を分析することができる。他にもPES、PS等とも呼ばれる。 原理[編集] 物質に数keV程度の軟X線