異方性エッチングシミュレーションとか | Mimiteruの日記 | スラドAnisotropic Crystalline Etch Simulation (ACES) for windows95/NT 自由（適当）に書いたマスクからSiとGaAsの異方性エッチング（ウェット、ドライ）他がシミュレーションできるソフトをちらっと発見しました。更新はされないそうですが、フリーなので遊んでみました。 大分古いプラットフォーム(Windows98/NT4,Windows95)ですが、XPでも何度か不正な処理を発しながら動きました。 白黒マスクをペイントで適当に作成しつつエッチして、エッチして、エッチして‥。 言葉にするとちょっと恥ずかしい感じですが、面方位とエッチャントを選んでマスクパターンと格闘してみたところかなりハマりました。 ちょっとやるだけならかなり楽しいです。角を四角にエッチングさせるのが何と難しいことか。仕事ではやりたくない雰囲気がむんむんしてきます。 エッチ
