TSMCとSamsungのEUV争奪戦の行方 ～“逆転劇”はあり得るか？
1997年から本格的な開発が始まった最先端EUV（極端紫外線）露光装置（以下、EUV）は、20年以上の歳月を経て2018年第3四半期頃に離陸し、2019年にTSMCが孔系にEUVを適用した7nm＋プロセス（以下、プロセスは省略）による量産に漕ぎつけ、ことし2020年には配線にもEUVを使う5nmによる大量生産が実現している。 筆者が2007年に初めて参加したリソグラフィの国際学会SPIEでは、EUVの開発があまりにも難しいため、図1のようなスライドを使ってその困難さを説明した発表があった。 図1：2007年2月、リソグラフィの国際学会SPIEにて 出典：EUVの画像はAnthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5より引用（クリックで拡
太陽電池の効率を66％まで高める手法、“量子影状態”の発見で可能性が開く
太陽電池の効率を66％まで高める手法、“量子影状態”の発見で可能性が開く：エネルギー技術 太陽電池 自然エネルギーを利用した発電の注目度が高まる中、米大学の研究チームが太陽光を効率良く電気エネルギーに変換する新たな手法を発表した。太陽電池の変換効率を、従来の2倍に高められる可能性を秘めているという。 “quantum shadow-state（量子影状態）”と呼ばれる量子状態の発見によって、太陽電池の変換効率を倍増できる可能性が出てきた。このquantum shadow-stateでは、光電子エネルギー変換で、高エネルギー状態の電子2個が生成されるという。米テキサス大学オースティン校の化学科教授であるXiaoyang Zhu氏が主導する研究チームが発表した。Zhu氏は太陽エネルギー変換のメカニズムを研究しており、科学雑誌「Science」にその最新の成果が掲載された。 Zhu氏らの研究チー
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