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FinFETの発明が日本人って知ってるかい? 2年くらい続いた半導体不足がさまざまな産業に影響を与えたせいか、半導体の専門用語であるFinFETという言葉を専門家ではない方たちまでが使うようになってきた。このFinFETとは、半導体集積回路(IC)の基本トランジスタであるMOSFETの変形であり(図1)、性能や消費電力の点で、従来のプレーナ型MOSFETよりも優れたトランジスタだ。集積化しやすく、小さな面積でトランジスタを小型にできるため、高集積ICにも適している。トランジスタがまるで魚のヒレ(fin)のような形をしているため、FinFETと名付けられた。 図1 FinFETの概念図 出典:久本大氏、日立製作所 FinFETのFETは電界効果トランジスタ(Field Effect Transistor)の略で、入力に電圧をかけると出力電流が流れるトランジスタ。トランジスタを最初に発明したベ
フィンFET(FinFET)の次に来るトランジスタ技術:福田昭のデバイス通信(303) imecが語る3nm以降のCMOS技術(6)(1/2 ページ) FinFETが限界に近づく3nm世代のCMOSロジック 半導体のデバイス技術とプロセス技術に関する世界最大の国際学会「IEDM(International Electron Devices Meeting)」は、「チュートリアル(Tutorials)」と呼ぶ技術講座を本会議(技術講演会)とは別に、プレイベントとして開催してきた。2020年12月に開催されたIEDM(Covid-19の世界的な流行によってバーチャルイベントとして開催)、通称「IEDM2020」では、合計で6本のチュートリアル講演が実施された。その中で「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm an
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