富士経済は,国内のマイクロマシン関連市場の調査結果を発表した(発表資料)。調査は2006年9~12月に,マイクロマシンの関連企業,研究機関,官公庁等への面接取材や文献調査などの形で行なった。今回の調査対象となったのは,製造機械であるメカ的マイクロマシン,MEMS,MEMS製造装置,MEMS設計や解析支援のためのソフトウエア,MEMSファウンドリ・サービスの市場である。 調査によれば,今後注目されるのはシリコン・マイクとMEMS圧力センサの市場だという。2006年のシリコン・マイク市場は21億円となる見通し。これが2010年には6.9倍の145億円の規模になると見込む。シリコン・マイクは音圧を感知するセンサで,Si薄膜とキャパシタの静電容量変化から音声信号を読み取るMEMS。現在小型マイクとして主流であるECM(electret condenser microphone)の代替品として,携帯
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