東京大学(東大)は3月3日、アクリル板と水道水だけを用いた低コストかつ低環境負荷の革新的な研磨技術を開発したと発表した。 同成果は、東大大学院 工学系研究科 精密工学専攻の三村秀和准教授、同・郭建麗大学院生らの研究チームによるもの。詳細は、応用物理学を扱う学術誌「Applied Physics Letters」に掲載された。 優れた研磨技術は、半導体分野におけるシリコンウェハの平坦化や、レンズ製造の核を成すガラスの平坦化などで活用されている。研磨には、薬液が用いられるが、レアアースを含んだり、環境に有害な薬液を用いる場合があり、より低コストかつ低環境負荷な研磨技術の開発が求められていた。 そこで研究チームは今回、アクリルに着目。これは2017年に三村准教授らの研究室において、松澤雄介大学院生(当時)が、通常のSiO2微粒子を用いた研磨に関する研究において、加工特性の向上を目指してアクリルの
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