このQMEMSにより、機械加工では16～17μm厚が限界とされる水晶の薄化加工を2μmまで可能にした。ATカットでは、薄さに比例して発振周波数を高めることができる。この技術により、800MHzという高周波発振デバイスも実現。

vcc のブックマーク 2013/08/22 13:12

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/158681302/comment/vcc" data-user-id="vcc" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/1308/21/news031_2.html" data-original-href="https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/1308/21/news031_2.html" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Feetimes.itmedia.co.jp%2Fee%2Farticles%2F1308%2F21%2Fnews031_2.html" data-user-icon="/users/vcc/profile.png">追い付かれない“QMEMS”で、事業領域を拡大させる――エプソン水晶事業戦略</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E9%96%8B%E7%99%BA">開発</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93">半導体</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/MEMS">MEMS</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">このQMEMSにより、機械加工では16～17μm厚が限界とされる水晶の薄化加工を2μmまで可能にした。ATカットでは、薄さに比例して発振周波数を高めることができる。この技術により、800MHzという高周波発振デバイスも実現。</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/vcc/20130822#bookmark-158681302"><span class="datetime-body">2013/08/22 13:12</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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