ついにビーム掘削の時代が。EUVが5nmでシングルパターニングに戻ったのに次の世代でまたダブルパターニングに戻るとか

daishi_n のブックマーク 2023/05/15 12:44

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/4736517020090609157/comment/daishi_n" data-user-id="daishi_n" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/ascii.jp/elem/000/004/135/4135535/" data-original-href="https://ascii.jp/elem/000/004/135/4135535/" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fascii.jp%2Felem%2F000%2F004%2F135%2F4135535%2F" data-user-icon="/users/daishi_n/profile.png">EUV露光で堀った溝を削って広げる新技法Sculpta　EUVによる露光プロセスの推移 (1/3)</a><br><p style="clear: left">ついにビーム掘削の時代が。EUVが5nmでシングルパターニングに戻ったのに次の世代でまたダブルパターニングに戻るとか</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/daishi_n/20230515#bookmark-4736517020090609157"><span class="datetime-body">2023/05/15 12:44</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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