JST失敗知識データベース > 失敗事例 > 大阪大学でのモノシランガス爆発大阪大学基礎工学部において、学生がプラズマCVD装置で実験中、同装置にガスを供給するモノシラン容器内で突然爆発が起こり、同容器が破裂して爆風および飛翔物によって、学生2名が死亡、5名が軽症を負うという事故が発生した。 1991年10月2日午後4時頃、大阪大学基礎工学部において、学生がプラズマCVD装置で実験中、学生が何らかの意図で行なったバルブ(図１のDV1)を閉操作したところ、同装置にガスを供給するモノシラン容器内で突然爆発が起こり、同容器が破裂して爆風および飛翔物によって、実験装置から人間まで、すべてが壁にたたきつけられていた。学生2名が死亡、5名が軽症を負うという事故であった。また、この爆発で都市ガスおよび有機塩素系溶剤に引火し、火災が発生した。 モノシラン容器内で爆発したものは、モノシラン（SiH4）と亜酸化窒素（N2O）の混合ガスである。図２に示す逆止弁CV3内のOリングが亜酸化
