電子顕微鏡の原理 | JAIMA 一般社団法人 日本分析機器工業会概要 電子顕微鏡は電子線を用いて測定対象物の拡大像を得ることができます。電子線は電磁波として見た場合、非常に波長の短い波ですので、光学顕微鏡などよりはるかに高い倍率での形態観察が可能となります。また、走査電子顕微鏡(SEM)においては、電子線を用いるため、焦点深度が非常に深い立体的な形態観察が可能なこと、数十倍～数万倍以上の広い倍率で観察可能なことが、多くの分野で有益な機能として用いられております。 本編では、電子顕微鏡の位置付け、原理・特徴を透過電子顕微鏡(TEM)、走査電子顕微鏡(SEM)の二種類の電子顕微鏡を取り上げて解説致します。 １． 電子顕微鏡とは 図１に各種観察手段の分解能を示します。 ここで、各種観察手段は「肉眼」「光学顕微鏡」「電子顕微鏡」とします。分解能とは物と物を分離して観察できる最短の距離の事です。ヒトの目の分解能はおおよそ0.1 ｍｍです。それ以上小さい物の観察に
