研究設備 | 量子ナノデバイス研究グループ青木研究室ではデバイスの作製から評価、電気伝導測定などに必要な設備がすべて一通りそろっています。そのためほとんどすべての実験が青木研究室内だけで行えます。 試料作製設備 主にグラフェンなどの試料を作成するクリーンルーム及び試料作製装置です。 クリーンルーム エアシャワー付きクリーン度10000のクリーンルームです。試料の準備や微細加工などのほとんどの作業はここで行われます。 リソグラフィー装置 自作フォトリソグラフィー装置です。紫外線を露光し最小で1ミクロン程度の線幅まで描画することができます。 JEOL社製のSEMに電子線描画装置をマウントしたEBLシステムです。ステージはピエゾモーターステージに換装してあり、最小で100nm程度の線幅のパターンを作製できます。 蒸着機 ~10-5Pa程度で電極金属を蒸着することができる電子線/抵抗加熱式蒸着機です。クライオポンプに換装する予定で、一日に
