半導体分野に関心を持つ方が増えたためなのか、「EUV関係」がニュースになることが多くなっている印象がある(EUVの詳細については後述)。筆者が、ちょっと検索しただけでも、ここ1カ月ほどだけでも以下のようなニュースがあった(順不同)。 一部には「EUV」と聞くと「買い」みたいな雰囲気もある。そこまで短絡的でなくても「EUV」と聞くとお金の匂いを感じ取る向きが多いようだ。 なぜEUVに「お金の匂い」を感じるのか? 「EUV」、日本語で言えば「極端紫外線」、英語でつづれば「Extreme Ultraviolet」なので「EUV」となる。波長13.5nmという紫外線、これより短くなるとX線(レントゲン線)カテゴリーに入ってくる。紫外線としては最も短い波長の電磁波である。こんなものにお金の匂いを感じる人が多いのは、ズバリ最先端の半導体製造において超微細なパターンを半導体上に形成する上でなくてはならな