【概要】 大阪大学基礎工学部において、学生がプラズマCVD(化学蒸散) 装置で実験中、同装置にガスを供給するモノシラン容器内(図1)に爆発が生じ、 学生2名が死亡、5名が軽症を負うという事故が発生した。逆止弁(図2) のOリングの劣化による逆流で、モノシランガスと亜酸化窒素の混合ガスが爆発した。 この爆発で都市ガスおよび有機塩素系溶剤に引火し、火災が発生した。 【日時】 1992年10月2日 【発生場所】 大阪大学基礎工学部 【事象】 大阪大学基礎工学部において、学生がプラズマCVD装置で実験中、 同装置にガスを供給するモノシラン容器内で突然爆発が起こり、 同容器が破裂して爆風および飛翔物によって、学生2名が死亡、 5名が軽症を負うという事故が発生した。 【経過】 1992年10月2日午後4時頃、大阪大学基礎工学部において、 学生がプラズマCVD装置で実験中、学生が何らかの意図で行なったバ