MEMSペディア＠一般財団法人マイクロマシンセンター
マイクロマシン・MEMS技術分野における専門用語集で、マイクロマシンセンター標準化事業委員会が1998年に作成したものが基本になっています。その後、この専門用語集をベースに国際規格化を進め、2005年に【IEC62047-1】として発行されました。さらにJIS化にも取り組み、2008年には 【JIS C 5630-1】が発行されました。 JIS発行に併行して、この専門用語集を2008年に改訂しました。現在、本専門用語集はMEMSペディア活動の一環としても位置づけられています。 収録する専門用語の数は258語。 英語版用語集も利用できます。 ファインMEMSプロジェクトで開発された「MEMS等価回路ジェネレータ」は、MEMSと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなど
異分野融合型次世代デバイス（BEANS）製造技術開発プロジェクトの概要
MEMS技術を飛躍的に発展させ、未来社会の「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」分野で新しいライフスタイルを実現させる革新的次世代デバイス (BEANS:Bio Electoro-mechanical Autonomous Nano Systems) を創出することが強く望まれていました。 このような状況に鑑み、国・NEDO主導の「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発 (BEANS) プロジェクト」が立ち上がりました。わが国における産学の総力を結集して、MEMS技術とナノテクノロジー、バイオテクノロジー等の異分野技術を融合させ、革新的次世代デバイス (BEANS) の創出に必要な基盤的プロセス技術群を開発し、次なるイノベーションのためのプラットフォームを確立することを目指し、2008年から5年間に亘り研究開発が遂行されました。 本プロジェクトについては、技術研究組合BEAN
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