MIMDになったCM-5 CM-1からCM-200までは、CPU部に自社開発のLSIを使ったが、VLSIの進歩は目覚ましく、1990年代になると汎用のCPUチップを使う方が機能や性能の点で有利という状況になってきた。また、汎用のプロセサで、ソフトウェアが充実しているアーキテクチャのプロセサであれば、ソフトウェアの開発の手間を大幅に削減することができる。 このような考えから、1991年に発表したCM-5のプロセサとして、TMCはSun MicrosystemsのSuperSPARCプロセサを選択した。そして、1つのCPUチップに4個のWeitekのFPUによるベクタ処理エンジンを接続した。なお、ベクタユニットはオプションであり必須ではなかったが、大部分のユーザはベクタユニットを付けてシミュレーションに使ったようである。 SuperSPARCのCPUクロックは32MHzで、CM-2のCPUの7