EUVは、波長吸収されるので真空維持、高出力レーザーとその破片による反射光学系やマスクなどへのダメージなど古くなってもコスト高いままになるのはわかりきっているので全部EUVに置き換わるわけじゃないが…。

qpci32siekqd のブックマーク 2023/05/11 12:07

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キヤノンが10年越しで開発､｢究極｣の半導体露光

toyokeizai.net2023/05/10

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