情報機構：講師コラム講師コラム：服部 毅 氏 『半導体製造汚染防止・除去のためのクリーン化・洗浄技術の最新動向』 コラムへのご意見、ご感想がありましたら、こちらまでお願いします。 第7回「30周年記念半導体クリーン化・洗浄技術国際会議UCPSS2023が9月開催」（2023/7/7） 国策先端半導体メーカーRapidusの技術指導を請け負ったことで知られるベルギーの先端半導体研究機関imecが30年以上にわたり隔年開催している半導体超クリーン化プロセスや洗浄技術に関する国際会議 UCPSS2023 (https://www.ucpss.org）が来る9月12～14日にベルギーの古都ブルージュで開催されるが、この度、論文採択選考が終わり、プログラムが発表された。 ３日間にわたるUCPSS2023のセッション構成は ・基調講演 ・ナノシートGAA FET形成のカギを握るSiGe選択エッチング ・高アスペクト比微細
