エキシマランプ/エキシマ光照射ユニットと紫外線蛍光ランプ「UV-XEFL」 | ウシオ技術情報誌「ライトエッジ」 | ウシオ電機
1. はじめに 誘電体バリア放電エキシマランプ（以下エキシマランプ）が商品化されてから19年が経過する。エキシマランプのスペクトルは特定波長にピークを持ち、半値幅が小さく、実用上は単一波長と扱えることから、研究用光源として重宝がられ、各種の研究に使用されてきた。一方、工業用途では、Xeエキシマランプ（ピーク波長172nm）が多く使用され、中でも、液晶パネル製造工程におけるVUV/O3洗浄用の標準光源として定着している。他にも、常温接合の表面改質、Ｐ板等のレーザー加工後の残渣除去、プラスチックの表面濡れ性改善等々に使われている。 エキシマ発光には、マイクロ波放電励起、ホローカソード放電励起、電子線励起などの方式があるが、本稿では、商品化され多用されている誘電体バリア放電励起方式のエキシマランプについて概説し、Xeエキシマランプの内面にUV蛍光体を塗布した新しい紫外線光源「UV-XEFL」を紹
熱放射 | ウシオ電機
熱放射とは、気体、液体または固体を構成する原子、分子、イオンまたは電子は、熱平衡状態においては、その温度に対応したボルツマン分布に従う熱エネルギーで運動をしている。この熱運動によって、荷電粒子から電磁波が放射されるが、このような放射を出す過程または出された放射のことを熱放射という。 ※英語では、この現象を示す語に<radiation>があるが、日本語では、かつての｢輻射｣が使われなくなったために、輻射の放射(emission of radiation)、輻射の吸収（absorption of radiation)を、単に、熱放射と言う。 ※ステファンとボルツマンが、「熱放射が絶対温度の4乗に比例する」ことを発見（ステファン・ボルツマンの法則)し、ウィーンが 「その温度と放射のピーク波長とが反比例の関係にある」 ことを発見（ウィーンの変位則）した。ウィーンの変位則の例として、恒星の温度と色の
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