超音波顕微鏡は、物質内部を非破壊で検査/観察するツールです。その歴史は古く、非破壊検査ツール/材料評価ツールとして、様々な分野において従来から使用されてます。例えば半導体分野においては、非破壊検査ツールとして日々活用されており、X線では検出しにくい剥離/クッラク等の検査に威力を発揮しています。 ★★★ デモ受付中 ★★★ 弊社東京本社にデモ機(EVOLUTION 2)を設置しました。デモをご希望の方はお気軽に弊社までご連絡下さい。 超音波は物質境界面で反射される性質があります。超音波顕微鏡は、超音波のこの性質を利用して物質内部の情報を可視化する装置です。スケールは異なりますが、医療機器の超音波エコーと同じ原理です。 実際の超音波顕微鏡では、水浸させたサンプルに対し、集束させたパルス波形の超音波を照射します(右図)。内部で反射されたパルスは、その波形の中に物体内部情報を含んでいます