ナノインプリントの発展と今後の展望 平 井 義 彦 大阪府立大学 大学院工学研究科(〒 599-8531 大阪府堺市中区学園町 1-1) Progress and Future View of Nanoimprint Technology Yoshihiko HIRAI Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University(1-1, Gakuen-cho, Naka-ku, Sakai-shi, Osaka 599-8531) :Nanoimprint,Resolution,Lithography,Nano Fabrication 1 はじめに ナノ加工技術として工業的に広く用いられている技術に, 写真製版技術から発展した半導体リソグラフィ技術がある。 電子デバイスの製造のみならず,マイクロマシンやディスプ レイ素子などの