マイクロマシンの注目市場はシリコン・マイクとMEMS圧力センサ，富士経済が発表
富士経済は，国内のマイクロマシン関連市場の調査結果を発表した（発表資料）。調査は2006年9～12月に，マイクロマシンの関連企業，研究機関，官公庁等への面接取材や文献調査などの形で行なった。今回の調査対象となったのは，製造機械であるメカ的マイクロマシン，MEMS，MEMS製造装置，MEMS設計や解析支援のためのソフトウエア，MEMSファウンドリ・サービスの市場である。 調査によれば，今後注目されるのはシリコン・マイクとMEMS圧力センサの市場だという。2006年のシリコン・マイク市場は21億円となる見通し。これが2010年には6.9倍の145億円の規模になると見込む。シリコン・マイクは音圧を感知するセンサで，Si薄膜とキャパシタの静電容量変化から音声信号を読み取るMEMS。現在小型マイクとして主流であるECM（electret condenser microphone）の代替品として，携帯
東芝、低コストな量産向けMEMSパッケージング技術2種類を開発 | RBB TODAY
東芝は30日、携帯電話などの無線システムなどに向けて開発が進められているMEMS（微細駆動装置）について、パッケージングを実気圧に近い状態で行う「実圧気密方式」において、水の侵入を許さない小型の気密中空構造の作製技術と、パッケージングを真空状態で行う「真空気密方式」において、真空の中空構造をより強固にする技術の2種類のパッケージング技術を開発し、両方式ともウエーハプロセスでの一括処理を実現することで、低コストでのMEMSパッケージングを可能にしたと発表した。 今回開発されたのは、MEMS可動部分を保護するための中空構造を作製する２つの方式である「実圧気密方式」と「真空気密方式」における実装技術。また、両方式でパッケージングしたMEMSについて、ドライバICを搭載したものとしては世界最薄となる0.8mmのマルチチップパッケージの試作にも成功した。 実圧気密方式は、中空構造の作製において、可動
MEMS International -- Tech-On！
技術者を応援する情報サイト「Tech-On！」の中でMEMS（micro electro mechanical systems）の情報を提供する専門サイトです。■オムロン，ついにRF MEMSスイッチを製品化 半導体テスターや高周波（RF）計測機器向けに製品化した。（続き） ■民生用加速度センサー，30.8％増の2億7450万個に 矢野経済研究所が，2008年度の民生用加速度センサー市場の予測を発表した。（続き） 【CEATEC】小型化で競う水晶デバイス各社，TCXOは1612品，振動子は1210品が登場 携帯機器向けに小型化を進めた水晶発振器や水晶振動子が「CEATEC JAPAN 2008」に相次いでいる。開発品ではあるが，温度補償型水晶発振器（TCXO）で外形寸法が1.6mm×1.2mm（1612サイズ），水晶振動子で1.2mm×1....（記事を読む，09/30 12:39） 【C
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http://www.realize-at.jp/items/bt/112/2/index.html
http://homepage2.nifty.com/mems-techno/image/skil-file-for-hp-v2.pdf
特 許流通 支援チャート １ . 技術の概要 MEMS は、Micro Electro Mechanical Systems の略語で、シリコン プロセス技術により、マイクロな機械的要素と電子回路要素を融合 したシステムを意味して��
dwm05_072~076_jyuten1
http://www.alab.t.u-tokyo.ac.jp/~ando/mesnote5.htm
MEMS
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http://www.ryutu.inpit.go.jp/chart/H13/dennki02/0/pdf/c-01.pdf
http://www.hkd.co.jp/technique/img/p_sensor.pdf
http://www.nanonet.go.jp/japanese/mailmag/2006/111a.html
http://www.es.u-tokai.ac.jp/es_hp/stu/class/yamamoto/micro2005/Notes050706.pdf
http://www.ee.knct.ac.jp/teachers/takakura/zairyo/chapt9.pdf
HITACHI : ナノインプリント技術
http://jp.yamatake.com/corp/rd/tech/review/pdf/2001_m_09/2001_m_09.pdf
http://www.necel.com/analogasic/ja/application/gyro.html
http://www.cornes-dodwell.co.jp/product/p_c/mixedsignalasic.html
