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  • ミニマルファブ - Wikipedia

    ミニマル ファブ(Minimal fab)とは、極小規模で半導体製造工場を形成し、少量の半導体チップを低コストかつ短期間で製造可能にすることを目的とした半導体製造システムの構想、またはその装置群。小規模化により、従来なら数千億円を要する製造設備投資額を1000分の1程度に抑えることを目指している。 ミニマルファブは少量向けの実用生産システムであるが、少量の半導体チップ製造が容易になることで、新たな電子機器の研究開発や製品化に大きく貢献することが期待されている。 歴史[編集] 2008年に日の独立行政法人産業技術総合研究所(産総研)が「究極の多品種少量生産」を目指したコンセプトを提案した。2010年より産総研が主体となってコンソーシアム「ファブシステム研究会」が形成され、ミニマルファブ用の各種装置と使用部材の開発が開始された。2012年から2014年にかけては経済産業省の国家プロジェクト

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