スライダ装置
【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。 【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 本発明は、
磁気軸受装置
【課題】フィードバックゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる磁気軸受装置の提供。 【解決手段】磁気軸受式ターボ分子ポンプでは、ロータ回転開始から定常回転に達するまでに危険速度（回転数ｎ２）を通過させなければならない。ロータ回転開始から回転数ｎ３までは、回転数ｎ１が危険速度である制御ゲインＧ１で磁気軸受を制御し、回転数がｎ４を越えたならば本来の制御ゲインＧ２で制御する。そして、ゲイン切換区間であるｎ３≦ｎ≦ｎ４の回転数範囲では、回転数の上昇に伴って制御ゲインＧをＧ１からＧ２へと連続的に変化させる。その結果、ゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 本発明は、ターボ分子ポンプ等に用いられる磁気軸受装置に関する。 【背景技術】 【０００２】 ターボ分子ポンプや工作機械等の高速回転が要求される装置においては、磁気軸受が採
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