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磁気軸受装置
【課題】フィードバックゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる磁気軸受装置の提供。 【... 【課題】フィードバックゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる磁気軸受装置の提供。 【解決手段】磁気軸受式ターボ分子ポンプでは、ロータ回転開始から定常回転に達するまでに危険速度(回転数n2)を通過させなければならない。ロータ回転開始から回転数n3までは、回転数n1が危険速度である制御ゲインG1で磁気軸受を制御し、回転数がn4を越えたならば本来の制御ゲインG2で制御する。そして、ゲイン切換区間であるn3≦n≦n4の回転数範囲では、回転数の上昇に伴って制御ゲインGをG1からG2へと連続的に変化させる。その結果、ゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【0001】 本発明は、ターボ分子ポンプ等に用いられる磁気軸受装置に関する。 【背景技術】 【0002】 ターボ分子ポンプや工作機械等の高速回転が要求される装置においては、磁気軸受が採