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スライダ装置
【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。 【解決手段】... 【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。 【解決手段】第1の部材10と、第1の部材10を介して対向する部分を有し第1の部材に対して相対移動可能に配置された第2の部材20と、第2の部材20の第1の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第1の部材10との間に空気による静圧を作用させて第1の部材10を非接触で支持する空気静圧軸受30A〜30Dとを備える。空気静圧軸受30Aは、第2の部材20に固定的に配置される固定部32Aと、固定部32Aに対して第1の部材10に向かう方向に進退自在に設けられ第1の部材10に対して空気による静圧を供給する空気静圧部33Aを備える。さらに、空気静圧部30Aは、固定部32Aと空気静圧部33Aとの間にバネ部材34Aと、振動を減衰させる振動減衰部材35Aとを備える。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【0001】 本発明は、