液体を満たして露光する液浸ArFと 何度も露光を繰り返すマルチパターニング そこで次なる策として考えられたのが液浸である。先にNAは最大1.0と書いたが、これは空気の屈折率が1だからだ。ところが液体では屈折率がもっと高い。そこで光源と対象となるウェハーの間に液体を挟み込むことで、NAの値を1以上にしようというものだ。先のページの中のImmersion systemsがこれでTWINSCAN NXT:1980Di/2000i/2050iの3機種ともArF光源を使いながら、NAは1.35、解像度は38nm以下とされている。 インテルで言えば、これで14nm世代は製造できたわけだが、10nm以下(今で言えばIntel 7とか)ではまだ足りない。例えばIntel 7ではフィンの間隔が34nmである。間隔が34nmということは、フィンそのものの幅はもっと小さいことになる。これは液浸でも不可能というこ