半導体デバイス測定に関する翻訳で、High-kという言葉がよく出てくる(例えば、Agilent B1542A 10 ns パルスIV パラメトリック・テスト・ソリューション)。High-kのkは、比誘電率を表す記号としてκ(ギリシャ文字のカッパ)が使われていたことに由来し、「High-k」とは、比誘電率が大きいという意味である。 CPUやメモリなどのLSIには、MOS(Metal-Oxide-Semiconductor、金属酸化膜半導体)構造のトランジスタ(MOSFET、FETはField Effect Transistor(電界効果トランジスタ)の略)がスイッチング素子として使われている。MOSFETのゲートに電圧(電界)を印加するか、しないかによる、ソース-ドレイン間の電流のオン/オフ制御(スイッチ)を利用して、論理回路が形成されている。 近年のLSI CMOSプロセスの微細化、高速化