雑科学ノート － 微細加工の話 －
最近、新聞などで「ナノテク」という言葉を目にしない日はほとんどありません。現実にはナノメーター（nm = 10-9m）までは行かないマイクロメーター（μm = 10-6m）レベルのものもありますが、とにかく小さい物を扱う技術は花盛りです。かつて「大きいことはいいことだ」というフレーズが流行ったことがありましたが、小さいことの利点もいろいろあります。部品が小さくなれば、それを使った機械装置も小さく、持ち運びに便利になりますし、逆に全体の大きさが同じならば、小さいほど多くの部品が詰め込めて高機能になります。典型的なのがLSIやそれを活用したコンピューターですね。細い配管の中や、場合によっては人間の体の中で活動するロボットなども、「小ささ」の「大きな価値」の一つでしょう。また、単に物理的な大きさの問題だけでなく、小さくすることによって新しい機能が発生することもあります。先のLSIの例では、小さく
エッチング加工 | 平井精密工業株式会社
極小極薄、複雑形状の要望に応える加工法 エッチング加工は、マスキングによる防食処理を施したうえで、腐食液によって不要部分を除去するもの。精密写真と写真腐食法の応用により生まれたこの技法は、プレス打ち抜き加工では不可能だった超精密な要求にも対応できる、極小極薄・複雑形状の製品に最適です。 金属エッチング 複雑、微細な形状を化学薬品で溶解し形成。1個の試作から100万個単位の量産品まで加工可能です。極小部品や極薄製品、複雑な部品でも高い加工精度でお応えします。 ハーフエッチング 板厚の半分をエッチングしポケット形状にする加工です。基本は板厚の60％～70％の深さになりますが、画像は一工夫する事で40％の深さに仕上げた断面画像です。「深くしたい・浅くしたい」といったご要望にお応えします。
誰がドライエッチング技術を発明したのか (1/5) - EE Times Japan
ドライエッチング装置市場は、露光装置市場を抜いて、2017年には107億ドルの最大市場となった。また、ドライエッチング技術を駆使したマルチパターニングにより、ArF液浸の解像限界38nmを超えて、10～7nmの微細パターンの形成が実現している。 過去、微細加工の花形はリソグラフィ技術だったが、今や、装置の市場規模においても、微細化への貢献においても、ドライエッチング技術が主役に躍り出たと言えよう。 では、そのドライエッチング技術を発明したのは誰か？ 本稿では、主として米国特許および論文の検索により、以下の3段階で、その発明者を明らかにする。 1. プラズマを用いたアッシング装置を発明したのは誰か プラズマを用いたアッシング装置を発明したのは、Laboratory for Electronics（以下、LFE）のRichard L. Bersinである。Bersinは、1966年2月1日に、
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