7FFプロセスは今年後半に本格量産開始 これに続くのが7nm世代である。最初のプロセスである7FFはすでに今年4月からRisk Productionが始まっていることが明らかにされており、順調であれば今年後半、それもやや遅い時期に量産がスタートすると思われる。 年内にはさらに20以上のテープアウトが予定されているそうで、Volume Productionに入るのは2018年前半だろうか。これに続くのが7FF+で、こちらは2018年後半にAvailableになる、とされている。いろいろ突っ込みどころの多い話ではあるが、順に説明していきたい。 まず7FFと7FF+の違いについて。最大の違いは露光である。7FFは、ArF+(フッ化アルゴン)液浸という従来の露光プロセスをそのまま利用して露光するが、7FF+はEUV(Extreme Ultraviolet Lithography:極端紫外線リソグラ
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