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球面収差補正走査透過型電子顕微鏡(Cs-corrected STEM) | 形態観察 | 分析機能と原理 | 技術情報 | 東レリサーチセンター
球面収差補正走査透過型電子顕微鏡(spherical aberration corrected Scanning Transmission Electron M... 球面収差補正走査透過型電子顕微鏡(spherical aberration corrected Scanning Transmission Electron Microscope:Cs-corrected STEM) 収差補正機能とは 近年の透過電子顕微鏡(TEM)の進歩は目覚ましいものがあるが、その最たるものが収差補正技術の開発である。電子顕微鏡に用いられる磁場レンズは、原理的に凸レンズしか作ることができないため、光学顕微鏡のように凹レンズとの組み合わせでレンズ収差を改善することができない。そのため、レンズの各種収差、特に3次の球面収差(Cs)の影響により、分解能が制限されていた。しかし近年、以前より理論的に提唱されていた多極子によって凹レンズを実現する装置が、電気的安定性の向上や制御に必要な実験データの蓄積等により実用化された。この球面収差補正機構がTEMの照射系や結像系に組み込まれる
2020/07/29 リンク