韓国SK財閥傘下の化学メーカーSKCが半導体製造用マスクブランクスの試作を開始し、2020年下半期にも本格的に量産を始める予定であることが、韓国産業通商資源部(日本の経済産業省に相当)からの発表で明らかになった。 マスクブランクスは半導体リソグラフィに必須のフォトマスクを作製するための石英ガラス基板上に金属膜と感光膜を塗布したもので、回路パターンを露光・現像で形成するとフォトマスクが出来上がる。マスクブランクスは日本からの輸入が9割以上を占めており、韓国が対日依存の脱却を目指す素材・部品・装備(装置や設備)の最重要20品目にあげられ、脱日本を目指した取り組みが進められてきた。 同国産業通商資源部の鄭升一(チョン・スンイル)次官は4月20日、ブランクマスクの国産化の成果を確認するため忠清南道天安市にあるSKC天安工場を視察、マスクブランクス生産ラインのあるクリーンルームを見学したという。同氏