TSMCは5月14日、同日オランダ・アムステルダムで開催した年次イベント「TSMC Europe Technology Symposium」にて、A16プロセスに高NA EUVを適用しない可能性があると指摘したと台湾メディアが報じている。 それによると同イベントにて登壇したTSMCのビジネス開発および海外事業オペレーション担当SVPであるケビン・ジャン(Kevin Zhang)氏が語ったもので、「高NA EUVの能力については気に入っているものの、販売価格は高すぎて気に入らない」といった趣旨を述べたという。AMLの高NA EUV露光装置の価格は1台あたり3億5000万ユーロ(約590億円、1ユーロ=169円換算)とも言われている。 Kevin Zhang氏は、TSMCが2026年後半に量産を計画しているA16プロセスには必ずしも高NA(NA=0.55)EUV露光装置の使用が必要となるわけで
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