水晶デバイス/新しい技術士ガイド QCM
QCMセンサー技術ガイド QCM (Quartz Crystal Microbalance)とは 水晶振動子表面に物質を付着させ、水晶振動体寸法、弾性率、密度等を等価的に変化させた場合に振動子の圧電気性質により電気的共振周波数の変化が起こる。 更にこの物質が物理的化学的こ変化が起これば、水晶振動体の弾性定数及び密度が変化し、周波数変化も起こるので水晶振動子の高い周波数安定性と分解能に付随して周波数変化が得られる。 結果として水晶振動子の共振周波数の変化量により極めて微量な付着物を定量的に捉えることができる。 このように設計された水晶振動子の総称がQCMである。形状、カット、等価パラメータ、諸特性等は、「水晶デバイス豆知識」中の水晶振動子または私の「著書」を参考として下さい。 古くから膜厚計のセンシングエレメントとして乾式の重量のみのセンシングには大きな実績を持っている。最近は、化学物質
QCMセンサ- QuartzCrystalMicrobalance｜QCM測定を手軽に
QCM ( Quartz Crystal Microbalance／水晶振動子マイクロバランス) とは、水晶振動子の電極表面に物質が付着するとその質量に応じて共振周波数が変動する（下がる） 性質を利用し極めて微量な質量変化を計測する質量センサーです。 QCMはその性質を利用してコンタミの測定やごく微量な昇華物などの測定、アウトガスガスセンサや匂いセンサ、微量な塩分付着や腐食（酸化）の測定など、様々な用途に用いられています。
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