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真空フィードスルー - Wikipedia
真空フィードスルー(しんくうフィードスルー、英語:Vacuum feedthrough)は、真空状態を保っている機... 真空フィードスルー(しんくうフィードスルー、英語:Vacuum feedthrough)は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。 フィードスルーの種類[編集] 電気フィードスルー[編集] 電気を真空へ送るためのフィードスルーは2つに大別できる。1つは、真空内部のにある機器に電源を供給するためのもの(電源フィードスルー)であり、もう1つは真空内部にある機器との電気信号のための(機器フィードスルー)である。いずれにせよ、真空壁への取り付けには絶縁を要するが、絶縁にはアルミナなどのセラミックが使用され、ろう付けやコバール接続などで取り付けられる。 電源フィードスルー[編集] 電源を供給するためには高い電圧を近くの伝導体(例えば装置の壁や隣の端子)から絶縁し、大きな電流に耐えなけ