わずか4枚のミラーで構成 EUV露光技術を開発
沖縄科学技術大学院大学（OIST）の新竹積教授は、小型EUV（極端紫外線）光源で動作する「EUVリソグラフィー先端半導体製造技術」を開発した。この技術を用いると、消費電力を従来の10分の1以下にでき、装置コストも削減可能だという。 7nmノード以降の先端半導体製造に向け装置の国産化も視野に 沖縄科学技術大学院大学（OIST）の新竹積教授は2024年7月、小型EUV（極端紫外線）光源で動作する「EUVリソグラフィー先端半導体製造技術」を開発したと発表した。この技術を用いると、消費電力を従来の10分の1以下にでき、装置コストも削減可能だという。 AI（人工知能）サーバ用GPUやモバイル機器に向けた高機能LSI、大容量DRAMといった最先端半導体の製造工程には、EUVリソグラフィー装置が導入されている。しかし、「装置の電力消費が大きい」「価格が高い」といった課題もある。その大きな理由として、優れ
半導体の微細化に不可欠なEUV露光技術の現状とこれから | サイエンス リポート | TELESCOPE magazine
本ウェブサイトで利用するCookieには、第三者のCookieも含まれる可能性があります。Cookieの設定は、いつでもご利用のブラウザの設定よりご変更いただけます。 このサイトを使用することにより、当社の Cookieポリシー に同意したものとみなされます。 #タグ ASML EUV EUV露光 EUV露光装置 TSMC サイエンス リポート マニュファクチュア 半導体 半導体チップ 半導体微細加工技術 半導体露光技術 微細化 次世代EUV装置 スマートフォンのような誰もが持ち歩く機器にも、最先端の半導体チップが搭載されるようになった。その進化は、デジタル社会の発展のみならず、安全保障面での国際競争力にも大きな影響を及ぼす。最先端の半導体チップを、必要な時に、必要な数だけ、確実に製造・調達できるかは、社会の持続可能な成長を考える上で最重要関心事のひとつとなっている。そして、その動向を洞察
半導体の微細化に不可欠なEUV露光技術の現状とこれから | サイエンス リポート | TELESCOPE magazine
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Inpriaとは？ ～フォトレジスト業界の重要トピック～ | Chem-Station (ケムステ)
一般的な話題 Inpriaとは？ ～フォトレジスト業界の重要トピック～ 2022/1/10 一般的な話題, 化学者のつぶやき フォトレジスト, 半導体 コメント: 0 投稿者: Tshozo Tshozoです。 昨年ゴム事業がENEOS殿に移り、ついに半導体をはじめとした先端技術材専門会社としての1歩を踏み出したJSR。昔から興味があったためにJSRなどを追っかけていたのですが、先日、同社が更に大きな賭けに出たと思われるニュースがありました(JSR プレスリリース)。 内容的にはJSRがInpriaというアメリカの企業を買収したというものですが、今回は無機フォトレジストという半導体の”サイズ”を左右する重要要素の、有力な次世代技術を持つ企業を買った点に関して非常に重要な意味を持つと感じたため採り上げることにしました。お付き合いください。 はじめに・半導体産業に関する諸々 日米半導体協定を発
極端紫外線リソグラフィ - Wikipedia
この記事は更新が必要とされています。 この記事には古い情報が掲載されています。編集の際に新しい情報を記事に反映させてください。反映後、このタグは除去してください。（2020年6月） この項目「極端紫外線リソグラフィ」は途中まで翻訳されたものです。（原文：en:Extreme ultraviolet lithography 17:56, 29 May 2013 ） 翻訳作業に協力して下さる方を求めています。ノートページや履歴、翻訳のガイドラインも参照してください。要約欄への翻訳情報の記入をお忘れなく。（2013年6月） EUVリソグラフィにおける結像機構 上: EUV 多層膜と吸収体 (紫) が線を結像するためのマスクパターンを構成している。下: マスクパターンから投影されたEUV放射(赤)はレジスト(橙)と基板(茶色)で吸光され、光電子と二次電子(青)を生成する。これらの電子はレジスト中の
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https://research-er.jp/articles/view/135917
https://twitter.com/ProbablyClass1/status/1756556761912492383
情報収集専用垢なので基本呟かないでも呟くときは発作が起きたと思ってくださいポヨ on Twitter: "高エネルギー加速器科学研究奨励会主催のの第５回特別講演会での東芝内山さんの講演資料は7年前のものですがEUV露光機を知るうえで非常に参考になるポヨ 以前、投稿したような気がしたのですが見つからず再投稿するポヨ… https://t.co/Ei853QZngi"