ミニマルファブ構想 ミニマルファブとは、集積回路ICを一つ作るのに十分なハーフインチウェハを用いてICを1チップずつ作る、超小型製造装置群からなる最小の集積回路ファクトリーのことです。 ミニマルファブは、(1) 1ロット=1ウェーハ(ハーフインチ径) =1チップ、(2) 装置サイズ30cm幅、 (3) クリーンルームを不要とする局所クリーン化生産技術の適用、という3つの特徴を持っています。 装置が30cmですから、工場も10m四方まで縮小してゆきます。 ミニマルファブの優れた点は、ムダを省けることだけではありません。研究と開発と生産を一体化できることにあります。 研究と開発と生産を一体化するためには、研究システムにおいても、工場と同等以上の生産管理機能、 特に生産中の製品品質を保持する高い完成度を持つ搬送システムを構築する必要があります。 私たちは、微粒子とガス分子を製造環境から遮断する局