京都セミコンダクター(以下、京セミ)は2020年12月10日、同社の主力製品である光半導体の薄膜形成に必要となる、プラズマCVD装置などの旧式製造設備をIoT(モノのインターネット)化する取り組み「スマートFAB」を同年12月4日から本格的に開始したと発表。Raspberry Piなどを用いることで投資コストは200万円と低く抑えながら、装置の稼働状況をリアルタイムで自動記録、遠隔監視できる仕組みを整える。 25年以上前から使う旧式設備をIoT化 今回、京セミが構築したのは、同社が保有する各種設備機器の一部をRaspberry Piや各種センサー類でIoT化し、収集した設備データをクラウドを介して遠隔モニタリングできるシステムだ。 具体的には恵庭事業所(北海道恵庭市)にあるプラズマCVD装置に、ガス圧力やガスボンベの残量、真空度、真空ポンプ負荷、高周波電力などの値を測定するセンサーを設置。