mems圧力センサー: 圧力センサー情報

当ブログは、圧力センサーに関する情報をインターネット上より収集、紹介している、エレクトロニクス系ブログです。 ■圧力センサーとは 圧力センサーは、空気圧の変化で吸着確認・着座確認・元圧管理・リークテスト等の圧力を計測するセンサーです。 事前に設定された圧力をこえた時に、電気信号として出力するものです。 ■圧力センサーの分類 シリコン・ダイヤフラム式（気体専用） シリコンチップの上に歪抵抗を形成し、圧力によりシリコンチップそのものが歪むと歪抵抗の抵抗値が変化。これを利用して圧力の変化を電気信号に変換します。 ステンレスダイヤフラム式（気体・液体マルチタイプ） ステンレスダイヤフラム上の歪抵抗が、ステンレスダイヤフラムを介して歪むことによって圧力の変化を電気信号に変換します。 ■ゲージ圧力と絶対圧力 ゲージ圧 大気圧をゼロとして圧力を表す方法。 大気圧より高い圧力を正圧、低い圧力を負圧という。

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