どこにでも貼り付けられる機能性酸化物薄膜 ―万能成長基板を用いた新たな薄膜成長と素子応用展開―

大阪大学 産業科学研究所の玄地 真悟さん(基礎工学研究科博士後期課程、日本学術振興会特別研究員DC1)、大坂 藍特任助教(常勤)、服部 梓准教授、田中 秀和教授らの研究グループは、2次元シート状の六方晶窒化ホウ素(hBN)上でFe3O4(マグネタイト)薄膜を成長させ、特性を維持したまま様々な材料上に貼り付けられるFe3O4薄膜(貼り付け可能素子)を世界で初めて実現しました。 スイッチ素子等に使われる機能性材料の特性をウェアラブル素子やフレキシブル素子へ応用展開するために、貼り付け可能素子に対するニーズが近年高まっています。なかでも、Fe3O4は薄膜成長を行うことで、相転移に由来する電気的・磁気的性質の大幅な変化を利用したスイッチ素子への応用が可能なことから近年注目されています。しかし、優れた特性を示す高品質なFe3O4薄膜は格子整合性が良く、かつ硬い基板上での作製が主流であったため、薄膜成