NIMS、厚み1nmの酸化物ナノ結晶に精密にドーピングする技術を開発 | エンタープライズ | マイコミジャーナル

物質・材料研究機構(NIMS) 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点の長田実 MANA研究者、佐々木高義 主任研究者らの研究グループは、分子レベルの薄さ(厚み:1nm)の酸化物ナノ結晶(ナノシート)において、化学組成と構造を自由自在に制御する精密ドーピング技術を開発したほか、同技術を誘電性ナノシートに応用することで、自在な特性制御を実現し、ナノレベルの厚さで高い性能の誘電体膜(誘電率320)の開発に成功したことを発表した。同成果は、Wiley発行の科学誌「Advanced Functional Materials」に公開された。 マイクロエレクトロニクスに使用される誘電体や半導体などの電子材料では、構造と特性を制御・調整するために、通常、異種元素(ドーパント)を格子内に導入するドーピング技術が使われている。近年、ナノ結晶の電子材料への応用が検討されているが、今後のデバイス応用の自由度を考える