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弾性波フィルタとは何か-FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説(2) | SENS‣AITプロジェクト
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東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 5. スプリアス応答とその対策 スプリアス... 東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 5. スプリアス応答とその対策 スプリアス応答についてその理解を助ける別の説明を試みよう。仮にFBARの振動膜が空中に浮かんでいて、図4 (a)に示すように純粋に膜厚方向に伸び縮みしているだけだとする。これは理想的な状態でピストンモードと呼ぶ。その振動周波数は、縦波の音速をv、振動膜の厚さをhとするとv/2hである。この振動モードだけなら単純であるが、実際はそうはならない。まず、振動膜の周囲が固定されていると、図4 (a)の代わりに図4 (b)のような振動モードとなるだろう。また、図4 (c)、(d)に示すような振動モードも存在すると思われる。図4 (b)~(d)を見比べると、これは、振動膜の膜面に沿った方向に異なる波数kxの波(板波)が伝搬して定在波が生じている状態だと理解できる。kxの異なる波は周波数が異なるから、図4 (b