プラズマ表面処理

プラズマ処理による表面改質は、さまざまな表面に有利な材料特性をもたらすため、長い間産業界の関心を集めてきました。今日では、最先端のプロセスにより、プラズマの製造と応用を制御し、精密にプロセスを再現することができます。プラズマの直接的な作用によって広い表面を洗浄し、その構造や結果として生じる特性を変化させることが可能になります。ユーザーは様々なプラズマプロセスを自由に使うことができます： 産業における部品の前処理のためのプラズマプロセスとして、以前から市販されているのが真空または低圧プラズマです。電磁高周波フィールドによって2つの電極間に生成され、密閉された真空チャンバー(10‐3～10‐9バール)内で発生します。 このため、関連部品は生産ラインとは別の圧力チャンバーで処理されます。真空チャンバー内では、ガスまたは混合ガスが電磁場の印加によってイオン化され、反応性の高いプラズマ状態に変換され