1976年の超LSI技術研究組合がニッポン半導体を世界一にした｜ボロボロになった取材ノートは語る by 電子デバイス産業新聞（旧半導体産業新聞）

1976年の超LSI技術研究組合がニッポン半導体を世界一にした ～700億円プロジェクトの立役者、垂井康夫氏が語る言葉の深さ～ 2018/9/28 40年以上も前のことである。1976年3月に当時の通産省補助金による超LSI技術研究組合の創立総会が開かれた。この組合は将来のコンピューター開発の要となる超LSI技術を研究する目的で設立されたものであった。富士通、日立製作所、三菱電機、東京芝浦電気（現東芝）、日本電気、日電東芝情報システム、コンピューター総合研究所の7社が大同団結して共同研究を進めることになったのだ。実に700億円を投じる国家プロジェクトであった。この開発の技術におけるリーダーが共同研究所の垂井康夫所長であった。 「競合する会社同士が次世代の超LSIを開発するという初のプロジェクトであり、非常に苦労が多かった。7社から選出された担当部長の会議を開いたところ、自分たちのノウハウは

[blueboy]

>　競合する会社同士が次世代の超LSIを開発するという初のプロジェクトであり、　……　画期的な高速電子ビーム露光が発表され、……　この発展の上に立って縮小投影露光装置、すなわち光学ステッパーが登場する。