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セミコンポータル/Semicon Portal
国家安全保障の観点から中国の半導体産業の台頭を抑えたい米国政府は、ASMLがEUV露光装置を中国に輸出せ... 国家安全保障の観点から中国の半導体産業の台頭を抑えたい米国政府は、ASMLがEUV露光装置を中国に輸出せぬように、2018年以降、オランダ政府に強く働きかけてきた。このため、中国最大のファウンドリであるSMICは、それ以前に注文していたEUV露光装置を未だに入手できていない。それだけではなく、韓SK hynixも中国無錫での先端DRAMの製造をあきらめざるを得なくなっている。 SMICが液浸ArFマルチパターニングを用いて(EUV露光を使うことなく)中国内の仮想通貨取引業者向けに7nmデバイスを製造していたことがリバースエンジニアリングでわかるやいなや、米国政府は自国では開発も製造もしていない液浸ArF露光装置の対中禁輸を日本およびオランダに要請してきた。これを受けて日本政府は、輸出規制半導体装置など23品目の中に液浸ArF露光装置(注1)を含めた改正省令を2023年7月から施行しようとし