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短波長赤外イメージセンサー技術 SenSWIR™ | 技術 | ソニーセミコンダクタソリューションズグループ
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短波長赤外イメージセンサー技術 SenSWIR™ | 技術 | ソニーセミコンダクタソリューションズグループ
SenSWIR(センスワイア)は、化合物半導体のInGaAs(インジウム・ガリウム・ヒ素)でフォトダイオードを... SenSWIR(センスワイア)は、化合物半導体のInGaAs(インジウム・ガリウム・ヒ素)でフォトダイオードを形成し、それを読出し回路のSi(シリコン)とCu-Cu(カッパーカッパー)接続することで、広帯域・高感度を実現したSWIR(Short-Wavelength InfraRed)イメージセンサー技術です。 SWIR光(短波長赤外光)は可視光とは異なる物質を透過したり吸収されたりするため、その性質を使ってさまざまなシーンに活用されています。 *) SenSWIRおよびそのロゴは、ソニーグループ(株)またはその関連会社の登録商標または商標です。 多画素かつ小型化の実現 受光部のフォトダイオードを形成するInGaAs層と、読み出し回路を形成するSi層を接合する際、従来のバンプ接続ではバンプピッチを確保するため、現行の産業機器向けCMOSイメージセンサーと比べて画素を小さくすることができず、