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塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策
レポート概要 本書のねらい・ポイント 近年、塗膜およびコーティングの高機能化と高品位化に伴い、細部... レポート概要 本書のねらい・ポイント 近年、塗膜およびコーティングの高機能化と高品位化に伴い、細部にわたるプロセス制御が求められている。コーティングとは、塗液を液膜へと拡張し、溶剤を乾燥し固着させるプロセスと定義されるが、材料科学では、大きいエネルギー変化を伴う現象として理解できる。よって、プロセスの高精度化には、熱力学や流れ解析、および応力解析などの基礎技術の適用が不可欠である。本書では、濡れの基礎理論から始まり、表面処理、乾燥、加工技術、デバイス応用技術、膜質評価などのコーティングに関する内容について広範囲に概説する。また、各種トラブルの解析手法や事例を多く盛り込んでいる。本書内に掲載した実験データ等の多くは著者が取得した内容であり、測定手法およびノウハウを含めて記載している。日々の開発製造現場における基礎として、本書の内容を役立てていただければ幸いである。 ◆濡 れ◆ ◎表面エネルギ