MEMSデバイスの進化はどこまでいくのか？MEMSにとって、プラスと考えられるのは、家庭用電化製品向けにMEMSデバイスを量産する企業の数が増え続けていること。加速度センサやジャイロスコープ、磁気コンパスの用途も携帯電話からノートパソコン、ゲーム機、PNDへと拡大し続けている。しかしその一方で、家庭用電化製品向けに関して予想されている価格の下落（少なくとも4半期ごとに5%）と新たな機能の集積化は、MEMSメーカーにとっては大きな課題となっている。 MEMSメーカーは価格下落や小型化、機能の充実といった課題に対して、それぞれ異なった対応をしている。米Invensense社は、2年間という期間の中で、ジャイロスコープのパッケージの厚みを40%減らし、また同時に検知軸の数を2軸から3軸に増やしている（図1）。生産インフラにおけるウエハーサイズの150mmから200mmへの変更は、コスト削減に大きな効果を持っている（少なく見積もっても、3
